MEMS-mikrofonid koosnevad üldiselt MEMS-i mikromahtuvusanduritest, mikro-integreeritud muundusahelatest, akustikambritest ja RF-häiretevastastest ahelatest. MEMS-i mikromahtuvuspea sisaldab heli vastuvõtmiseks ränimembraani ja silikoonist tagaelektroodi. Räni diafragma saab otse vastu võtta helisignaali ja edastada selle mikro-integraallülitusse läbi MEMS-i mikromahtuvusanduri. Mikro-integraallülitus teisendab suure takistusega ja võimendatud helisignaali madala takistusega elektrisignaaliks, mis filtreeritakse samaaegselt RF-müravastase vooluringiga, ja väljastab elektrisignaali, mis sobib eelvooluahelaga. akustiline-elektriline” muundamine on lõpetatud. Elektriliste signaalide lugemise kaudu realiseeritakse heli äratundmine.
Postitusaeg: 06. detsember 2022
